Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
удаление непроявленного резиста — neišryškinto rezisto šalinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. descumming; non developed resist elimination; undeveloped resist elimination vok. Abziehen von Fotolackresten, n; Entfernung des unentwickelten Resists, f rus.… … Radioelektronikos terminų žodynas
удаление сухого плёночного резиста — sausojo rezisto plėvelės šalinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. dry resist film stripping vok. Trockenfilmresistablösung, f rus. удаление сухого плёночного резиста, n pranc. élimination de résist à film sec, f … Radioelektronikos terminų žodynas
снятие резиста — rezisto šalinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. resist stripping vok. Resistablösung, f rus. снятие резиста, n; удаление резиста, n pranc. élimination de résist, f … Radioelektronikos terminų žodynas
литография оптическая — Термин литография оптическая Термин на английском optical lithography Синонимы фотолитография, photolitigraphy Аббревиатуры Связанные термины биомедицинские микроэлектромеханические системы, лаборатория на чипе, литография, фоторезист Определение … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Resistablösung — rezisto šalinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. resist stripping vok. Resistablösung, f rus. снятие резиста, n; удаление резиста, n pranc. élimination de résist, f … Radioelektronikos terminų žodynas
resist stripping — rezisto šalinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. resist stripping vok. Resistablösung, f rus. снятие резиста, n; удаление резиста, n pranc. élimination de résist, f … Radioelektronikos terminų žodynas
rezisto šalinimas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. resist stripping vok. Resistablösung, f rus. снятие резиста, n; удаление резиста, n pranc. élimination de résist, f … Radioelektronikos terminų žodynas
élimination de résist — rezisto šalinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. resist stripping vok. Resistablösung, f rus. снятие резиста, n; удаление резиста, n pranc. élimination de résist, f … Radioelektronikos terminų žodynas
МИКРОЛИТОГРАФИЯ — формирование микрорисунков на поверхности твёрдого тела. M. лежит в основе технологии микроэлектроники. Обычно M. включает: нанесение на поверхность твёрдого тела (подложку) тонкого слоя фоторезиста (материала, чувствительного к воздействию… … Физическая энциклопедия
зачистка (в полупроводниковых приборах) — Процесс удаления материала с поверхности подложки; обычно подразумевается, что удаление выполняется не с целью создания какой либо конфигурации, например, удаление всего резиста после литографии и травления.… … Справочник технического переводчика
